美 공화 의원들, 인텔의 中 연계 반도체 장비 시험에 깊은 우려

[서울=뉴스핌]박공식 기자 = 중국과 깊은 관련을 맺고 있는 회사의 반도체 장비를 인텔이 시험한 것으로 알려지자 미국 공화당 소속 의원들이 국가안보 측면에서 깊은 우려를 표명했다고 로이터통신이 현지시간 17일 전했다.

앞서 통신은 지난 13일자 기사에서 인텔이 미국의 제재 대상인 ACM 리서치의 반도체 장비를 테스트했다고 전한 바 있다.

캘리포니아 프리몬트에 본사를 둔 반도체 장비 회사 ACM 리서치는 상하이와 한국에 계열사를 두고 있다. 지난해 해당 계열사 두 곳은 중국에 군사용도로 전용될 수 있는 반도체 제조장비를 지원한다는 이유로 미국 정부의 제재 명단에 올랐다.

인텔이 이번에 시험한 ACM의 장비 두 대는 습식 식각 장비(wet etch tool)로 실리콘 웨이퍼 표면의 불필요한 박막 제거에 쓰인다. 인텔은 두 대의 장비가 14A로 알려진 자사의 첨단 반도체제조 공정에 사용할 수 있는지를 테스트한 것으로 전해진다.

이와 관련 인텔은 로이터에 "ACM 장비는 우리의 반도체 생산 공정에 쓰이지 않는다"며 "우리는 모든 미국의 법과 규칙을 준수하고 있다"고 밝혔다.

ACM은 특정 고객 문제에 논평할 수 없다면서도 "자사 미국 팀이 아시아 사업부에서 생산한 장비를 미국 내 고객에게 판매 및 인도했다"고 확인한 바 있다.

그러면서 ACM은 "우리의 미국 사업부는 제재를 받은 상하이의 계열사 분리됐고 미국 내 고객들은 직접 미국인들이 지원해 고객 영업 기밀을 보호한다"고 강조했다.

공화당 소속의 마샤 블랙번 상원의원은 "중국과 연계된 장비를 미국 반도체 제조에 사용하는 것은 중국 정부가 우리의 최첨단 반도체 기술을 조작하거나 손상시킬 수 있는 길을 열어주는 것과 다름 없다"고 주장했다.

이어 "미국 정부의 자금 지원을 받은 인텔이 미국의 국가 안보와 경제 안보를 위협하는 것은 매우 심각한 문제"라고 비판했다.

하원의 중국특별위원회 위원장인 존 물레나(공화당) 의원은 "중국산 반도체 제조 장비를 도입하는 것은 미국이 첨단 칩과 장비 부문에서 가진 우위를 상실하는 지름길"이라고 우려했다.

그는 "인텔이 국가 이익에 부합하는 기업 활동으로 상당한 세금 지원을 받았다는 점을 고려할 때 인텔이 이러한 조치로 국가 안보를 위태롭게 할 것이라고는 믿기 어렵다"고 말했다.

가트너 리서치에 따르면 ACM의 반도체 클린징 장비 부문 시장 점유율은 8%로 업계 24위에 올라 있다.

kongsikpark@newspim.com