삼성전자 평택 5공장 구축 '속도'…가스·화학 설비 구축 착수

삼성전자가 평택5(P5) 반도체 공장 건설에 속도를 내기 시작했다. P5 건설 재개를 확정한 후 곧바로 핵심 설비 발주를 추진하는 것으로 파악됐다.

30일 업계에 따르면 삼성전자는 경기 평택 P5 공장의 가스 및 화학물질 공급 설비 경쟁 입찰을 준비하는 것으로 확인됐다. 조만간 입찰 내용을 공개하고 사업자 선정에 돌입할 예정이다. 지난 16일 삼성전자 임시 경영위원회에서 P5 골조 공사 추진을 결정 직후 핵심 설비 구축이 추진되는 것이다. 삼성전자는 2023년 P5 기초 공사를 시작했으나, 반도체 업항 부진으로 이듬해 1월 중단했다.

가스와 화학물질은 반도체 제조에 필수다. 웨이퍼 산화 방지나 절연막 형성, 냉각 등을 위해 질소·산소·수소·헬륨 등이 대량으로 쓰인다. 또 회로를 구현하는 증착·식각 공정에서도 가스가 활용된다. 세정·노광·연마에는 액체 형태 화학물질이 필요하다.

가스와 화학물질을 제조 라인에 공급하려면 전용 설비(유틸리티)를 구축해야 한다. 이 과정은 보통 골조 공사 다음에 이뤄져 왔다. 최근에는 골조와 유틸리티 구축을 동시에 진행하는 '패스트트랙' 방식도 활발하다. 공장 건설 속도를 높이기 위해서다. P5가 여기에 해당한다.

업계 관계자는 “삼성전자는 P5 가동 시점을 2028년으로 잡았지만 현재 준비 속도를 고려하면 이보다 앞당겨질 수도 있다”며 “최근 인공지능(AI) 확산으로 반도체 수요가 급격히 증가하면서 삼성전자가 생산능력을 빠르게 확보하려는 것”이라고 평가했다.

현재 국내외 다수 가스·화학물질 공급 설비 사업자들이 입찰을 준비하고 있다. 린데·에어리퀴드·한양기공(머크)·원익홀딩스·한양이엔지·에스티아이 등이 각축전을 전개할 것으로 예상된다. 보통 반도체 공장 한 곳의 가스·화학물질 공급 설비 투자는 수천억원 수준으로 알려졌다. 업계에서는 P5 규모를 고려, 이번 발주가 조단위로 이뤄질 가능성도 점치는 상황이다. 일부 해외 기업은 이번 입찰에 대응하기 위해 본사 임직원을 한국에 파견한 것으로 알려졌는데, 그만큼 사업 수주에 총력을 기울이려는 것으로 풀이된다.

P5는 가로 650미터, 세로 195미터, 3층의 초대형 복합 공장으로 지어질 예정이다. 반도체 제조 라인은 6개로 기존 평택의 다른 공장(P1~P4)보다 많다. 메모리와 파운드리(위탁생산) 라인이 함께 들어서는 '하이브리드 팹'으로 계획됐다.

삼성전자 관계자는 “P5 건설 관련 세부 일정은 확인해줄 수 없다”고 말을 아꼈다.

권동준 기자 djkwon@etnews.com