[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 공정용 화학소재 전문 기업 램테크놀러지가 'TGV(반도체용 유리기판) 인터포저 제조 핵심기술 Glass Hole 식각 기술개발 관련 특허' 등록을 완료했다고 24일 밝혔다.
앞서 램테크놀러지는 해당 기술개발과 관련해 지난해 7월 특허 출원을 한 바 있다. 이후 심사를 거쳐 최종 등록을 완료했으며, 해당 기술의 독창성과 산업적 가치를 공식적으로 인정받게 됐다고 회사측은 설명했다.
램테크놀러지 연구개발 담당자는 "이번 특허 등록으로 TGV 공정에 필수적인 고정밀 식각 기술을 확보하게 됐다는 점에서 고무적으로 생각한다"며, "고객사 요구에 맞춘 다양한 홀 사이즈 구현, 식각 프로파일 최적화, 글라스 표면 규일도 및 투명성 개선 등 차별화된 기술력으로 시장에 진입할 계획이다"라고 전했다.
램테크놀러지는 특허 등록을 완료함에 따라 대내외적인 환경을 고려하여 TGV용 식각액의 상용화를 추진할 계획이다. 현재 고객사 평가를 진행하고 있으며, 반도체 소재 특성 상 타 산업군에 비해 고객사 평가에 시간이 소요되는 만큼 안정적인 제품 생산을 위해 노력할 계획이라고 밝혔다.
nylee54@newspim.com
