넥스틴, SK하이닉스 낸드 라인에 '세계 최초' 3D 검사 장비 납품

넥스틴(348210)이 세계 최초로 개발한 3차원(3D) 웨이퍼 검사 장비를 SK하이닉스의 낸드플래시 라인에 공급했다. 자체 원천 기술로만 개발한 기기로 KLA 등 선진 업체들보다 먼저 양산에 성공해 큰 주목을 받고 있다.

24일 넥스틴은 SK하이닉스와 ‘웨이퍼 검사 시스템’을 계약했다고 공시했다. 계약 규모는 57억 원이다. 취재 결과 넥스틴은 '아이리스(IRIS)'라는 신개념 3D 검사 장비를 SK하이닉스에 공급하기로 했다. 아이리스는 근적외선(NIR)이라는 빛으로 다중비초점면(TSOM) 기술을 구현한 기기다.

이 장비는 낸드 플래시 공정에서 발생하는 웨이퍼의 결함을 검사한다. 메모리 종류 중 하나인 3D 낸드 플래시는 정보 기억 공간을 아파트처럼 수직으로 쌓아 올리는 방식으로 만들어진다.

현재 세계 주요 낸드 회사들은 300단 이상의 초고적층 제품을 개발했다. 다만 층수가 높아지면서 칩의 밑바닥에서 발생한 문제를 관찰하는 게 기존 방식으로는 쉽지 않았다.

넥스틴은 이런 문제를 인지하고 세계 최초로 NIR TSOM 기술을 개발했다. NIR TSOM 기술은 NIR 빛으로 초점이 벗어난 낸드 내부 사진을 의도적으로 여러 장 찍은 뒤, 이들을 하나로 모아 결함 유무를 가려내는 방식이다. 칩 깊숙한 곳까지 구석구석 침투해 기존의 문제를 해결할 수 있다는 장점이 있다.

SK하이닉스는 지난해 초 이 장비에 대한 평가를 시작해 최근 퀄(승인) 테스트를 완료하고 본격적으로 라인 내에 들인 것으로 알려졌다.

업계에서는 넥스틴이 이 장비를 세계적인 장비 업체인 KLA보다 먼저 개발했다는 것에서 높게 평가하고 있다. 업계 관계자는 “고대역폭메모리(HBM)·고적층 낸드 검사 분야에서 넥스틴의 기술이 점차 경쟁력을 갖춰가고 있다”고 설명했다.