[과기부·대전시 연구 장비육성기업] 〈8〉나노시스템, 반도체 공정 3차원 측정·검사시스템 기술 선도…세계 일류기업 도약

나노시스템(대표 이형석)은 반도체와 반도체 패키지기판 분야 3차원 측정·검사 시스템으로 세계 일류기업으로 도약하고 있다.

나노시스템은 2003년 설립해 끊임없는 연구개발(R&D)을 통한 독창적 기술로 국내는 물론 해외시장에 초정밀 측정기 제품과 안정적 서비스를 제공하고 있다.

인공지능(AI), 데이터센터, 클라우드, 자율주행 등 첨단기술 시대가 도래하면서 반도체 고성능화가 요구되고 있다.

나노시스템은 최근 반도체 전 공정의 회로 미세화 기술의 한계를 후공정을 통해 극복하고자 하는 반도체 제조업계 추세에 맞춰 반도체 후공정 미세회로 2D·3D 측정장비(Wafer Backend 2D·3D CD Metrology System)를 출시했다

반도체 후공정 응용 주요 제품으로 NSW-300 Series는 백색광 주사 간섭계(WSI) 기반 독자적 광학 기술을 탑재한 완전 자동화 계측 시스템이다.

200mm 및 300mm 웨이퍼 응용에서 RDL(Re-Distribution Layer), UBM(Under bump metal), 오버레이(Overlay), 범프(Bump) 등을 정확하게 측정할 수 있고 박막과 후막 두께, 표면 거칠기 측정 기능도 제공한다.

EFEM 로봇시스템과 연동해 완전 자동화를 구현할 수 있으며, SEMI 규격을 준수하는 공장 자동화 기능도 지원한다.

반도체 공정은 제품이 나노미터 단위로 정밀 제작되며, 매우 작은 먼지나 오염 입자도 제품 성능을 떨어트릴 수 있다.

이에 따라 나노시스템은 최근 클린룸 설치를 완료하고 제품 제조환경을 구축해 완성도를 높여나갈 계획이다. 올해 8월 공사를 시작해 12월에 설치를 완료했다. 이번에 설치 완료한 클린룸은 전체면적 561㎡에 10만 CLASS 수준이다.

클린룸 시설에서 반도체를 제조하는 고객사와 유사한 환경에서 신제품 NSW-300 Series를 제조하고 테스트를 수행함으로써 제품 안정성과 신뢰성을 높이는데 중요시설이 될 전망이다.

장기적 성장을 위한 네트워크와 기술 강화도 추진한다.

나노시스템은 단순 시장 진출에 그치지 않고, 반도체 산업 내에서 영향력을 확대하기 위해 지속적인 네트워크 강화와 기술 자료 업데이트를 병행하고 있다.

기술 자료와 애플리케이션 데이터를 정기적으로 최신화해 대리점과 공유하고, 다양한 고객사로부터 샘플 데이터를 확보, 새로운 측정 항목을 개발하고 있다.

이형석 나노시스템 대표는 “세계 시장진출 확장 전략을 추진해 기업 성장의 발판을 마련하겠다”라며 “글로벌 전시회 참관과 참여를 통해 시장 내 입지를 다지고, SEMI 및 관련 산업 협회의 네크워크를 강화하여 업계 내 신뢰도를 더욱 강화하겠다”라고 말했다.

양승민 기자 sm104y@etnews.com