한국에 방문한 피터 베닝크 전 ASML CEO가 삼성전자(005930)·SK하이닉스(000660) 등 국내 칩 제조사들이 올해에도 차세대 극자외선(EUV) 설비 투자를 적극적으로 이어갈 것으로 내다봤다. 지난해 퇴임한 페닝크 전 CEO는 이번 달 네덜란드 정부 관계자와 함께 삼성전자 평택캠퍼스를 방문하는 등 한국과 현지 정부의 ‘반도체 징검다리’ 역할을 하고 있다. 이재용 삼성전자 회장에 대해서는 ‘굿 프렌드’라며 특별한 인연도 과시했다.
베닝크 전 CEO는 19일 한국 최대의 반도체 행사인 ‘세미콘 코리아 2025’ 현장에서 서울경제신문을 만나 이같이 밝혔다. 베닝크 CEO는 삼성전자·SK하이닉스의 올해 EUV 설비투자에 대한 질문에 “현재 CEO가 아니기 때문에 구체적으로 답하기는 어렵다”면서도 “통상적으로 혁신을 하려면 투자가 필요한데, 차세대 EUV를 도입하기 시작한 대만·미국 회사들에 뒤처지지 않으려면 한국 회사들도 투자를 이어가야 할 것”이라고 말했다.
베닝크 전 CEO는 지난해까지 세계적인 노광 장비 회사인 ASML의 수장을 맡았다. ASML은 7나노(㎚·10억 분의 1m) 이하 초미세 반도체 회로를 만들기 위한 핵심 기술인 극자외선(EUV) 노광장비를 세계에서 독점으로 생산하는 회사다. 삼성전자, SK하이닉스 뿐만 아니라 미국 인텔, 대만 TSMC 등 기라성 같은 회사들이 ASML의 노광 장비를 선점하기 위해 치열한 경쟁을 벌일 정도다.
최근 ASML은 EUV 노광장비의 성능을 한층 업그레이드한 하이(High)-NA EUV 장비 출하를 시작했다. 삼성전자가 이 설비를 구축하기 시작했다는 사실이 업계에 알려지기도 했는데, 이에 대해 묻자 그는 “그렇다”고 답했다.
그는 크리스토퍼 푸케 ASML CEO에게 수장의 권한을 물려준 이후에도 왕성한 활동을 하고 있다. 특히 ‘반도체 전도사’로서 한국을 방문한 점이 눈길을 끈다. 21일까지 한국에 머물 예정인 베닝크 전 CEO는 디르크 벨리아르츠 네덜란드 경제부 장관 등 네덜란드 정부 주요 관계자들과 18일 삼성전자 평택 캠퍼스를 방문해 한국과 삼성, 네덜란드와 ASML 사이의 협력 방안을 논의했다.
이미 베닝크 전 CEO는 2023년 ASML 본사에서 윤석열 대통령, 빌럼알렉산더르 네덜란드 국왕, 이재용 회장, 최태원 SK그룹 회장 등이 지켜보는 가운데 차세대 반도체 제조기술 R&D센터 설립 양해각서에 직접 서명한 경험도 있다. 그는 “최근 새롭게 구성된 네덜란드 정부에서 이 사안에 대해 호기심을 가지고 있고, 정부와 업계에서 반도체 전문가의 시각과 조언을 물어보고 있다”고 말했다.
그는 이재용 회장과의 인연에 대해서도 강조했다. 베닝크 전 CEO는 2022년, 2023년 이 회장의 네덜란드 ASML 본사 방문은 물론 작년 파리 올림픽 현장에서 수영 경기를 함께 관람하는 등 각별한 관계를 이어가고 있다. 그는 이 회장과의 인연에 대해 묻자 “거의 30년 동안 일하면서 친분을 쌓은 좋은 친구(good friend)”라며 “한국의 모든 고객사들을 좋아한다”고 말했다.
이번 방문에서 이 회장을 만날 것인지에 대한 질문에 대해서는 “나는 이곳에 있을 때 모두를 만나 산업 현황에 대해 이야기를 나눈다”며 “현재 아주 바쁜 일정과 미팅 일정을 수행하고 있다”며 말을 아꼈다.
