넥스틴이 반도체 결함 검사 장비 '이지스4'를 출시한다. 전 세대 대비 해상도를 높여 첨단 공정 대응력을 강화한 것이 특징이다.
11일 업계에 따르면 넥스틴은 이르면 11월 '이지스4'를 출시하고, 기존 장비 판매 라인업을 이지스3·4 조합으로 재편할 방침이다. 현재 판매 중인 이지스2는 단종 수순에 밟을 예정이다.
이지스는 반도체 웨이퍼 상의 미세 결함을 검출하는 2D 광학 검사 장비다, 자외선(UV) 영역인 355나노미터(㎚) 파장의 레이저를 이용해 웨이퍼 표면을 정밀하게 스캔한다.
이 장비는 넥스틴이 2014년 처음 시장에 선보인 이후 매출의 90% 이상을 차지하는 핵심 제품으로 자리 잡았다. 특히 미국 KLA가 사실상 독점하던 세계 다크필드 검사 장비 시장에서 넥스틴이 2위에 오르게 한 주력 모델이기도 하다.
이지스4는 2023년 9월 출시된 이지스3 이후 약 2년 만에 선보이는 신제품이다. 이지스3에서 검사 속도를 30% 높였던 넥스틴은 이번에는 광학계, 검출기 등을 개선해 해상도를 개선하는데 집중했다. 기존에는 30㎚대 크기의 오염 입자(파티클)까지 검출할 수 있었는데, 이를 20㎚대로 성능을 강화한다. 첨단 공정에 대응하기 위해서다.
제품 출시를 앞두고 10월부터 중국 생산법인도 가동될 예정이라 시너지가 기대된다. 중국은 미국의 반도체 제재에 따른 KLA 대체 수요로 이지스 판매량이 꾸준히 늘어온 국가다. 현지 생산 시 보조금 혜택을 받을 수 있어 판매 확대가 예상된다.
넥스틴 관계자는 “이지스4는 해상도를 개선에 초점을 맞춰 개발된 장비로, 국내 주요 반도체 제조사는 물론, 해외 시장에서 영업을 전개해 나갈 것”이라고 말했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
