삼성전자 '국가핵심기술', 中에 수출한 시도한 일당 재판行

반도체 세정장비 레시피 등 도용

檢 "삼성전자 매출 1%만 감소해도 연간 1조원 손해"

[서울=뉴스핌] 김현구 기자 = 삼성전자의 국가핵심기술을 도용해 만든 반도체 세정장비를 중국기업에 수출하려 한 일당이 재판에 넘겨졌다.

수원지검 방위사업‧산업기술범죄수사부(박경택 부장검사)는 지난 17일 산업기술의유출방지및보호에관한법률 위반, 부정경쟁방지및영업비밀보호에관한법률 위반(영업비밀국외누설등) 혐의로 중국계 회사 운영자 A씨(55)를 구속기소했다고 19일 밝혔다.

아울러 검찰은 같은 날 해당 회사 직원 등 9명과 양벌규정에 따라 관련 법인 3곳도 불구속 기소했다. 검찰은 지난해 11월 A씨와 공모한 혐의로 설계팀장 B씨(43)를 구속기소한 바 있다.

A씨는 2021년 10월부터 지난해 4월까지 B씨와 공모해 삼성전자의 자회사인 '세메스' 출신 퇴사자로부터 세정장비 챔버부 도면을 구한 다음, 그 도면을 기초로 새로운 수출용 세정장비 챔버부를 제작한 혐의를 받는다. 챔버부는 세정장비 내에서 구성된 세정 작업이 실제로 진행되는 부분을 말한다.

또 그는 같은 기간 세메스의 협력업체에 근무했던 로봇 개발 담당자와 공모해 세메스의 세정장비 이송로봇(세정장비 내에서 웨이퍼를 옮기는 로봇) 도면을 도용해 새로운 수출용 이송로봇을 설계·제작한 혐의도 있다.

아울러 검찰은 2023년 5월 A씨가 회사에서 제작한 세정장비를 구동하기 위한 레시피(세정장비 구동 세부 절차·방법 문서)가 필요한 상황에서, 전 삼성전자 직원과 공모해 삼성전자의 세정공정 레시피를 활용해 새로운 레시피를 작성한 혐의도 적용했다.

검찰에 따르면 반도체 제조는 웨이퍼라는 원판 위에 레이저, 화학약품 등을 이용해 회로를 붙이고 깎는 작업을 반복하는데, 그 과정에서 머리카락 1만분의 1 굵기의 이물질이 발생하고 이를 정밀하게 제거해야 한다.

이 이물질은 매우 작은데 이를 제대로 제거하지 않으면 불량품이 될 가능성이 매우 높아, 제조 중인 반도체를 훼손하지 않고 이물질만 완벽하고 정밀하게 제거하는 것은 초고난도 기술이다. 이에 국내 최대 반도체 제조업체인 삼성전자와 세메스는 30여년간 막대한 자본과 인력을 들여 세계 최고 수준의 세정 기술을 완성했다.

검찰 관계자는 "피고인들이 유출·부정사용한 기술자료는, 세정공정 관련 자료와 세정장비의 설계도면 등 반도체 세정 기술로, 만약 기술이 그대로 유출돼 동일·유사 품질의 설비가 대량 생산됐다면 국내 반도체 산업에 회복 불가능한 손해가 발생했을 것"이라고 지적했다.

여기서 레시피는 산업통상자원부가 국가핵심기술로 지정한 것이며, 세정장비 설계 도면은 기술집약이 높고 기술혁신 속도가 빠른 '첨단기술'로 지정된 것이다.

검찰은 세메스가 그동안 인건비를 포함한 연구비 등 기술개발에 약 2188억원을 투자한 만큼 같은 금액 이상의 직접 손해 발생 가능성이 있고, 기술경쟁력 약화로 삼성전자의 판매가 1%만 감소해도 연간 1조원 상당의 손해가 발생했을 것이라고 분석했다.

삼성전자 근무 경력이 있는 A씨는 2018년 삼성전자와 세메스 등 반도체 관련 업체에서 근무한 엔지니어들을 순차적으로 영입하며 회사를 설립하고, 이들이 보유한 인력·기술을 중국 회사 국내 법인에 양도한 뒤 중국 회사를 위한 세정장비를 개발하기로 계약했다고 한다.

영입된 엔지니어들은 A씨의 지시에 따라 근무하던 업체에서 퇴사할 무렵 불법 유출한 자료나 국내 반도체 업계에 종사하는 지인들로부터 받은 자료 등 국내 반도체 업체들의 기술자료를 수집했다.

검찰 관계자는 "과거 기술 유출은 대부분 외국 기업이 고액 연봉을 내세워 엔지니어들을 스카우트하는 방식이었으나, 이번 수사로 외국 기업이 직접 한국에 기술 유출 거점업체를 설립·운영하며 국가핵심기술을 유출한 범행이 확인됐다"고 강조했다.

그러면서 "수원지검은 첨단산업보호 중점 검찰청으로서 국가핵심기술, 첨단기술을 국외로 유출하는 반국가적 범죄에 엄정하게 대응하겠다"고 부연했다.

hyun9@newspim.com