이노메트리, 중우엠텍과 손잡고 유리기판(TGV) 상용화 공동추진

2차전지 전문 비파괴검사기술, 전자·반도체 분야에 확대적용 준비

[서울=뉴스핌] 오경진 기자 = 2차 전지용 X-ray(CT) 검사 솔루션 전문기업 ㈜이노메트리가 지난 21일 반도체 유리 가공 부품 전문기업 ㈜중우엠텍(이하 JWMT)과 전략적 기술 협약을 체결하고 유리 기판 사업 분야에서 공동 개발 및 상호 협력을 추진한다고 밝혔다.

이노메트리는 2차 전지 내부를 X-ray 또는 CT로 촬영, 분석하여 불량을 찾아내고 화재를 예방하는 비파괴 검사 장비 전문업체다. 2차 전지 부문에서는 세계 최고 수준의 기술력과 시장 점유율을 자랑하며, 표면을 투과하여 검사하는 솔루션 특성상 물리적 손상 없이 내부를 확인해야 하는 모든 산업 분야에 적용할 수 있다.

이노메트리는 JWMT와의 이번 협약을 시작으로 자사 검사 솔루션의 전자·반도체 부문 사업 진출을 본격화할 계획이다. 지난해 적층형 메모리 반도체 내부를 CT로 검사하는 장비 개발 국책 과제에도 선정된 바 있으며, 이번 기술 제휴를 통해 반도체 유리 기판 분야의 핵심 기술인 TGV(Through Glass Via, 유리 관통 전극 제조)용으로 개발한 비파괴 검사 장비의 정밀도를 고도화하는 기술 협업을 진행할 예정이다.

TGV는 기판의 중심인 '코어' 층을 유리로 만들고 미세한 구멍을 뚫어 그 속을 구리로 채워 배선을 만드는 기술인데, 미도금, 충진 불량, VOID(기공) 생성 등 마이크로미터(μm) 단위의 작은 불량도 X-ray(CT)로 검사하면 광학, 초음파 등 기존 방식 대비 가장 정밀하게 검출해 낼 수 있다.

JWMT는 유리 기판 시장에서 레이저를 이용한 유리 기판 미세 가공 기술을 바탕으로 두각을 나타내고 있는 강소기업이다. 특히, TGV 기술은 글로벌 대형 기판 회사들과 상용화 협력을 진행 중인 것으로 알려졌으며, 지난해부터 국내 공장에 월 5천 장 규모의 유리 기판 양산 라인 설치도 시작했다.

JWMT 박성수 대표는 "유리 소재는 기판으로 쓰기 좋은 물성을 가지고 있음에도 가공이 어려워 진입 장벽이 있었으나, 당사의 독자적인 미세 가공 기술을 통해 유리 기판을 이용한 고성능 반도체 패키징도 문제없이 가능하다"며 "이노메트리의 검사 기술과 제휴하여 더욱 높은 품질의 유리 기판 제품을 만들고 글로벌 시장의 게임 체인저로 거듭날 것"이라고 전했다.

이노메트리 이갑수 대표는 "전자·반도체 부품의 고밀화·초미세화로 비파괴 검사가 필요한 영역이 점차 늘어나고 있어 당사는 검사 기술 센터를 통해 다양한 산업군에 적용할 수 있는 검사 장비 및 AI SW의 선행 개발을 지속하고 있다"며 "주력 사업인 2차 전지 분야에서도 LFP, ESS, 전고체 등 국내 핵심 고객사의 전략 양산 라인 수주를 통해 시장 지배력을 계속해서 높여가고 있다"고 밝혔다.

ohzin@newspim.com