ALD 석학 한자리에…제 5회 '아토믹 크래프트 리서치' 성료

차세대 반도체 공정인 원자층증착(ALD)를 연구하는 석학들이 한자리에 모여 몰리브덴·강유전체 등 첨단 소재·기술 동향을 공유했다.

지난 6일과 7일 아토믹 크래프트 리서치는 서울 강남구 과학기술컨벤션센터에서 '제 5회 아토믹 크래프트 워크숍' 행사를 개최했다. 아토믹 크래프트 리서치는 2018년 설립된 연구 조직이다. 반도체 웨이퍼 위에 원자 알갱이로 얇고 견고한 막을 만드는 ALD를 연구하기 위해 당시 신진 연구자들이 힘을 합쳐 만들었다.

이들이 양 일간 개최한 이번 행사는 올해로 5회 째를 맞으며 규모를 키워가고 있다. 산·학·연 관계자 350 여명이 참석했고, 공정,소재,소자 전문가 24명이 연단에 올라 ALD의 다양한 쓰임새와 첨단 소재에 대해 발표했다. SK하이닉스(000660), 머크 등 세계적인 반도체 회사들은 물론 원익IPS, 주성엔지니어링, 동진쎄미켐, 알페스 등 국내 유력 소재·부품·장비사, 차세대 지능형반도체사업단 등이 이 행사를 후원했다.

이번 학회에서 박태주 한양대 교수는 '고등 ALD 공정 및 전자소자 응용 사례'를 주제로 한 발표에서 세계 최초로 2D 전자기체를 적층한 3진법 트랜지스터를 개발한 연구 성과를 발표했다. 한정환 서울과기대 교수는 최근 업계의 화두로 떠오른 몰리브덴 소재 기반의 ALD 박막 공정에 대해 설명했다.

아토믹 크래프트 워크숍은 조직위원장인 안지훈 한양대 교수를 중심으로 내년에도 개최될 예정이다. 박태주 교수는 "본 행사를 통해 해당분야의 다양한 산학연 교류가 활발하게 이루어지고 있으며, 추후 반도체 분야 인력양성에도 큰 도움이 될것으로 생각한다"라고 말했다.