도쿄일렉트론(TEL)이 약 1조원을 투자, 일본 미야기현에 반도체 플라즈마 식각 장비 공장을 건설한다.
TEL은 “빠르게 늘고 있는 반도체 수요 대응을 위해 미야기현에 새로운 생산 시설을 구축, 제조 자회사인 TEL 미야기를 확장할 것”이라며 “오는 6월 공장 건설을 시작해 2027년 여름에 완공하는 게 목표”라고 밝혔다.
회사는 1030억엔(약 9930억원)을 투자, 연면적이 8만8600제곱미터(㎡·약 2만6800평)인 공장을 짓는다. 지상 5층 규모 건물에서 플라즈마 식각 장비를 생산할 예정이다.
식각은 웨이퍼에서 회로 패턴 이외 불필요한 부분을 제거하는 공정이다. 이온화된 기체인 플라즈마를 활용한 건식 식각 방식이 주로 활용되는데, TEL은 이 분야에서 미국 램리서치와 글로벌 1위를 다투고 있는 장비사다.
반도체 산업의 지속 성장이 예상되는 만큼 플라즈마 식각 장비 수요도 증가할 것으로 보고 공장 신설을 결정한 것으로 풀이된다. TEL은 “2030년에는 반도체 시장 규모가 1조달러를 돌파할 것”이라고 예상했다.
회사는 미야기 공장을 스마트팩토리로 구축, 장비 생산성 극대화를 추진한다. 물류 기능을 자동화해 효율성을 높이는 한편 2040년 탄소중립을 위해 생산 시설을 '넷 제로 빌딩'으로 설계할 방침이다.
TEL 측은 “이 시설을 세계 최고의 반도체 장비 공장으로 만들겠다”고 강조했다.
이호길 기자 eagles@etnews.com
